场发射电子显微镜 sem扫描电镜 电子扫描电镜 场发射扫描电镜

仪器特点：

扫描电子显微镜采用大样品室的半内透镜设计，却能达到超高分辨率，可以与内透镜uhr扫描电镜相媲美。

主要特点：

1. 新型物镜采用专利的exb设计。使用单检测器和超级exb可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
2. 1kv低加速电压,不使用减速功能,可保证有2.0nm的分辨率。
3. 两种样品台可选：i型50mm x 50mm标准样品台或ⅱ型110mm x 110mm大样品台。
4. 包括磁悬浮涡轮分子泵在内的先进的真空系统。
5. 光阑自清洁技术,避免了光阑的污染。

技术参数：

二次电子分辨率: 1.4nm (1 kv，减速模式)
1.0nm (15kv)
电子光学：
电子枪: 冷场发射电子源
加速电压: 0.5~30kv(0.1kv/步，可变)
放大倍率: x 20~ x 800,000
物镜光阑: 4孔，真空外选择和调校(内置加热器)
检测器: 二次电子检测器 (高位/低位)
背散射电子检测器(可选)
edx(可选)
透射电子检测器(可选)
法拉第杯(可选)
阴极荧光检测器(可选)
样品台: l型:
x: 0~50mm y: 0~50mm
z:1.5~30mm t: -5~+70°r:360°
驱动:手动(可选3轴驱动)
ll型:
x: 0 ~110 mm y: 0 ~110mm
z: 1.5 ~40 mm t: -5 ~+70°
r: 360°驱动:pc机控制5轴驱动

图像显示:

操作/显示: pc/at 兼容,
操作系统： windowstm 2000
18.1" 平面显示器
扫描模式: 标准，split/dual mag./line scan, position

画面储存: 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
图像编辑: 内置图像处理软件和图像编辑软件
图像文件格式: bmp, tiff, jpeg
扫描速度: tv, 慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察
慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录
成像过程: 自动调节亮度和对比度
光栅旋转，自动聚焦，自动像散校正，
平均，帧积分，伪彩色显示
自动数据记录: 胶卷号，加速电压，微米标尺，放大
倍率，日期，时间，工作距离
电子图像移动: ±12u( w.d. = 8 mm)
真空系统: 完全气阀自动调节
离子泵 3 台
涡轮分子泵(磁浮型) 1 台
机械泵 1 台

本产品的类型是电子显微镜，品牌是BOEN，型号是13646，目镜放大倍数是x20~x800,000，物镜放大倍数是20~800,000，加工定制是否